中芯國(guó)際斥資12億美元購(gòu)買ASML DUV光刻機(jī)
發(fā)布時(shí)間2022-03-02 15:59:46
此次的購(gòu)買單為阿斯麥集團(tuán)向中芯國(guó)際供應(yīng)用于生產(chǎn)晶圓的機(jī)器，購(gòu)買單的總價(jià)為12.02億美元。中芯國(guó)際未公布訂單包含的產(chǎn)品或機(jī)器型號(hào)，但據(jù)外媒報(bào)道，阿斯麥集團(tuán)表示與中芯國(guó)際的批量采購(gòu)交易涉及一項(xiàng)中低端芯片制造技術(shù)，即深紫外線光刻技術(shù)（DUV）。阿斯麥?zhǔn)侨蜃畲蟮陌雽?dǎo)體光刻設(shè)備供應(yīng)商，實(shí)現(xiàn)7nm以下先進(jìn)半導(dǎo)體制程的關(guān)鍵設(shè)備——極端紫外線光刻機(jī)（EUV）就由該公司生產(chǎn)，并且是全球唯一能夠量產(chǎn)EUV的廠商。阿斯麥3月4日澄清稱，同中芯國(guó)際的協(xié)議已于2018年1月1日簽訂，最初將一直持續(xù)到2020年12月31日，并于2021年2月1日延長(zhǎng)至2021年12月底
據(jù)外媒透露，19年受制于美國(guó)政府的施壓，荷蘭一直未批準(zhǔn)向中國(guó)銷售EUV設(shè)備的許可證，20年12月，美政府將中芯國(guó)際列入實(shí)體制裁清單，要求美國(guó)半導(dǎo)體制造設(shè)備企業(yè)向中芯國(guó)際出口產(chǎn)品前，必須獲得許可才行，21年3月外媒透露，中芯國(guó)際經(jīng)過(guò)談判已獲得部分美國(guó)設(shè)備廠商供應(yīng)許可。
